真空热处理能用於淬火﹑减压蒸馏﹑固溶热处理﹑热处理﹑淬火和沉定硬底化等加工工艺。异性钢质量在进入适度物质后﹐也能用於有机化学热处理。

真空中的淬火﹑减压蒸馏﹑时效处理关键用於纯粹水平或工艺性能规定高的工件﹐如难熔金属材料的变软和去地应力﹑不锈钢板和镍基高温合金的时效处理﹑异性钢生产鈦和鈦铝合金的减压蒸馏解决﹑软磁合金改进导磁率和矫顽力的淬火﹐及其规定明亮的碳素钢﹑高合金钢和铜等的光亮退火。真空中的热处理有气淬和液淬二种。气淬将要工件在真空加温后向冷却室中充以高纯中气体(如氮)开展冷却。适用於气淬的有锋钢和高碳钢高铬钢等奥氏体临界状态冷却速率较低的原材料。液淬是将工件在加温室中加温后﹐挪到冷却室中充进高纯度N2并马上送进淬火油槽﹐迅速冷却。假如必须高的工艺性能﹐工件真空热处理和固溶热处理后的淬火和沉定硬底化仍应在真空炉中开展。

真空渗碳是将工件装进真空炉中﹐抽真空并加温﹐使炉内清洁﹐做到渗碳溫度后进入氮氧化合物(如丙烷气)开展渗碳﹐历经一定時间后断开渗碳剂﹐异性钢加工再抽真空开展外扩散。这类方式可保持高溫渗碳(1040℃)﹐减少渗碳時间。渗层中不出現内空气氧化﹐也找不到渗碳层表层的碳含量低於次层的难题﹐并可根据脉衝方法真空渗碳﹐使埋孔和小孔得到匀称渗碳层。

运用零件经真空热处理后﹐崎变小﹐品质高﹐且加工工艺自身 实际操作灵便﹐无污染。因而真空热处理不但是一些独特铝合金热处理的必需方式﹐并且在一般工程用钢的热处理中也得到运用﹐非常是专用工具﹑磨具和高精密耦件等﹐经真空热处理后使用期较一般热处理有很大的提升。比如一些磨具经真空热处理后﹐其使用寿命比原先盐浴解决的高40～400％﹐然而有很多专用工具的使用寿命可提升3～4倍上下。除此之外﹐真空热处理炉可在较高溫度下工作中﹐且工件能够维持清洁的表层﹐因此能加快有机化学热处理的吸咐和反映全过程。因而﹐一些有机化学热处理﹐如渗碳﹑高频淬火﹑渗铬﹑渗硼﹐及其多元化共渗都能获得迅速﹑更强的实际效果。